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顆粒計(ji)數器(qi)的校正(zheng)原理和(he)方(fang)法
校正(zheng)的基(ji)本(ben)原理:
標(biao)準(zhun)粒子(zi)通過255粒子(zi)產生(sheng)器(qi)由(you)液(ye)狀霧(wu)化成氣體(ti),並由(you)其內置(zhi)泵通過0.2um的過濾(lv)器後的(de)幹(gan)燥氣體(ti)進(jin)入取樣(yang)管(guan)路(lu),這時,將兩臺相同塵埃粒子(zi)計(ji)數器(qi)同時或先(xian)後對(dui)取樣(yang)管(guan)進(jin)行(xing)抽樣(yang)測(ce)試,並比(bi)校0.3um粒徑的(de)測(ce)試值(zhi)。如(ru)果(guo)其平均(jun)值(zhi)在20%以內,認(ren)為(wei)合格。如(ru)果(guo)不(bu)同型號的(de)粒子(zi)計(ji)數器(qi),壹要弄清楚(chu)其流速(su),取樣(yang)時間(jian),取樣(yang)次數等參數(shu),並且(qie),還(hai)要明白怎樣(yang)理解(jie)其測(ce)試結(jie)果。
校正(zheng)的基(ji)本(ben)步(bu)驟(zhou):
現假(jia)設對(dui)壹臺(tai)常(chang)見(jian)的(de)Royco HH200作校正(zheng)
1、先(xian),要清楚(chu)Royco 323和(he)HH200A有何差(cha)別,其測(ce)試原理壹(yi)樣(yang),但Royco 323流(liu)速(su)為(wei)1CFM(立方(fang)英(ying)尺/分(fen)鐘),而(er)Royco HH200則為(wei)0.1CFM。
2、將潔凈臺(tai)開機(ji),工(gong)作半(ban)小(xiao)時,其間(jian)內也(ye)打(da)開Royco 323和Royco HH200,讓其預熱(re)半小時。
3、準(zhun)備好255的(de)取樣(yang)器管(guan),並搭接(jie)好其所有氣體(ti)管(guan)路(lu)。
4、將配好的(de)標(biao)準(zhun)液(ye)(如(ru)0.301um)放入脫(tuo)原子(zi)瓶中,註(zhu)意勿讓液(ye)體(ti)超過噴(pen)嘴。
5、設(she)置(zhi)Royco323和(he)Royco HH200的基(ji)本(ben)參(can)數(shu)
(1)取樣(yang)時間(jian)都設(she)置(zhi)為(wei)00:01:00
(2)取樣(yang)次數都設置(zhi)03
(3)取樣(yang)模式都設置為(wei)Auto
(4)間(jian)隔時間(jian)都設(she)置(zhi)為(wei)00:00:05
(5)讀(du)數(shu)模式都設置為(wei)Cumulative
註(zhu):以上設置相同,因其流速(su)有10倍差(cha),故(gu)Royco323測(ce)試結(jie)果會是Royco HH200的(de)10倍。
6、打(da)開255電源(yuan),調節脫(tuo)原子(zi)氣體(ti)閥和(he)幹燥氣體(ti)閥,在調至噴(pen)嘴閥處呈(cheng)氣霧(wu)出(chu)現,幹(gan)燥氣體(ti)流速(su)計(ji)約60SCFH時後,保(bao)持其工(gong)作狀態。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時工(gong)作,看其三(san)次的平均(jun)結(jie)果,若在20%以內,視(shi)為(wei)合格。
8、拆(chai)下(xia)脫(tuo)原子(zi)瓶,重(zhong)新滴入其它標(biao)準(zhun)粒子(zi),重(zhong)復(fu)該測(ce)試。
9、以(yi)上校正(zheng)只是對比(bi)校正(zheng),尚用(yong)萬(wan)用(yong)表對(dui)其基(ji)本(ben)參(can)數(shu)測(ce)量(liang),用(yong)示(shi)波器(qi)對其信號捕(bu)捉(zhuo)等(deng)來輔(fu)助調校。
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