氣體(ti)塵(chen)埃粒子計(ji)數(shu)器的(de)校正方法

      氣(qi)體(ti)塵(chen)埃粒子計(ji)數(shu)器的(de)校正方(fang)法
本(ben)文介(jie)紹的(de)是氣體(ti)塵(chen)埃粒子計(ji)數(shu)器的(de)校正所需(xu)設(she)備、基(ji)本(ben)原(yuan)理已(yi)經基本(ben)步驟。
壹(yi)、校(xiao)正所需(xu)設(she)備
1、100級(ji)潔(jie)凈房(fang)或(huo)潔(jie)凈臺
2、壹(yi)臺用(yong)於作(zuo)對比，尚在校正期內(nei)的(de)塵埃粒子計(ji)數(shu)器
3、各(ge)粒徑的(de)標(biao)準粒子 
4、可(ke)產(chan)生(sheng)脫離水（DI水）的(de)純水系(xi)統(tong)或(huo)類似裝(zhuang)置
5、標(biao)準粒子氣(qi)體(ti)產(chan)生(sheng)器
6、其(qi)它(ta)普(pu)通(tong)電(dian)器
二、校(xiao)正的(de)基本(ben)原(yuan)理
標(biao)準粒子通(tong)過255粒子產(chan)生(sheng)器由(you)液(ye)狀(zhuang)霧(wu)化(hua)成(cheng)氣體(ti)，並(bing)由(you)其(qi)內(nei)置(zhi)泵通過(guo)0.2um的(de)過濾(lv)器(qi)後的(de)幹燥(zao)氣體(ti)進(jin)入取樣管(guan)路(lu)，這(zhe)時(shi)，將兩臺相同(tong)塵埃粒子計(ji)數(shu)器同時(shi)或(huo)先(xian)後對取(qu)樣管(guan)進(jin)行抽樣測試，並(bing)比校(xiao)0.3um粒徑的(de)測試值。如果(guo)其(qi)平(ping)均值在20%以(yi)內(nei)，認為(wei)合格(ge)。如(ru)果(guo)不(bu)同(tong)型號的(de)粒子計(ji)數(shu)器，壹定要弄清(qing)楚(chu)其(qi)流速(su)，取樣時(shi)間，取樣次(ci)數(shu)等參數(shu)，並(bing)且，還要明白怎樣理解(jie)其(qi)測試結果(guo)。
三(san).、校(xiao)正的(de)基本(ben)步(bu)驟：
現假設(she)對壹(yi)臺常(chang)見(jian)的(de)Royco HH200作(zuo)校(xiao)正
1、首先(xian)，要清楚(chu)Royco 323和HH200A有(you)何差別(bie)，其(qi)測試原理壹樣，但Royco 323流速(su)為(wei)1CFM（立(li)方(fang)英尺/分(fen)鐘），而Royco HH200則(ze)為(wei)0.1CFM。
2、將潔(jie)凈臺開(kai)機，工(gong)作半(ban)小(xiao)時(shi)，其(qi)間(jian)內(nei)也打開(kai)Royco 323和Royco HH200，讓其(qi)預(yu)熱半(ban)小(xiao)時(shi)。
3、準備好(hao)255的(de)取樣器管(guan)，並(bing)搭接(jie)好(hao)其(qi)所(suo)有氣(qi)體(ti)管(guan)路(lu)。
4、將配(pei)好(hao)的(de)標(biao)準液(ye)（如0.301um）放(fang)入脫原子(zi)瓶中，註(zhu)意勿讓液(ye)體(ti)超(chao)過噴(pen)嘴(zui)。
5、設(she)置Royco323和Royco HH200的(de)基本(ben)參數(shu)
（1）取(qu)樣時(shi)間都(dou)設(she)置為(wei)00：01：00
（2）取(qu)樣次(ci)數(shu)都(dou)設(she)置03
（3）取(qu)樣模式都(dou)設(she)置為(wei)Auto
（4）間(jian)隔(ge)時(shi)間都(dou)設(she)置為(wei)00：00：05
（5）讀數(shu)模式都(dou)設(she)置為(wei)Cumulative
註(zhu)：以(yi)上設(she)置相同(tong)，因其(qi)流速(su)有10倍(bei)差，故Royco323測試結果(guo)會(hui)是Royco HH200的(de)10倍(bei)。
6、打開(kai)255電(dian)源，調(tiao)節(jie)脫原子氣(qi)體(ti)閥和幹燥(zao)氣體(ti)閥，在調至噴(pen)嘴(zui)閥處呈(cheng)氣霧(wu)出(chu)現，幹燥(zao)氣體(ti)流速(su)計(ji)約60SCFH時(shi)後，保持(chi)其(qi)工(gong)作狀(zhuang)態。
7、讓Royco 323和Royco HH200同(tong)時(shi)工作，看(kan)其(qi)三(san)次(ci)的(de)平均(jun)結果(guo)，若在20%以(yi)內(nei)，視(shi)為(wei)合格(ge)。
8、拆(chai)下(xia)脫原(yuan)子(zi)瓶，重新滴(di)入其(qi)它(ta)標(biao)準粒子，重復(fu)該(gai)測試。
9、以(yi)上(shang)校正只是對比校(xiao)正，尚可(ke)用(yong)萬用(yong)表(biao)對(dui)其(qi)基(ji)本參數(shu)測量，用(yong)示(shi)波器對其(qi)信(xin)號捕(bu)捉等來輔助調(tiao)校(xiao)。