本文介(jie)紹(shao)的是(shi)氣(qi)體(ti)塵埃粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器的校(xiao)正(zheng)所需(xu)設備(bei)、基本(ben)原理(li)已(yi)經(jing)基本步驟(zhou)。塵埃粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器www.chinarainbow.com.hk
壹(yi)、校(xiao)正(zheng)所需(xu)設備(bei)
1、100級(ji)潔凈(jing)房(fang)或潔凈(jing)臺(tai)
2、壹(yi)臺(tai)用於作(zuo)對(dui)比(bi)，尚(shang)在校(xiao)正(zheng)期(qi)內(nei)的塵埃粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器
3、各(ge)粒(li)徑(jing)的標(biao)準粒(li)子(zi)
4、產生脫(tuo)離水（DI水）的純(chun)水(shui)系統(tong)或類(lei)似(si)裝置(zhi)
5、標準粒(li)子(zi)氣(qi)體(ti)產生器
6、其它(ta)普通電(dian)器(qi)
二、校(xiao)正(zheng)的基(ji)本(ben)原理(li)
標(biao)準粒(li)子(zi)通過255粒(li)子(zi)產生器由液狀(zhuang)霧(wu)化成(cheng)氣(qi)體(ti)，並(bing)由(you)其(qi)內(nei)置(zhi)泵(beng)通過0.2um的過(guo)濾(lv)器後的幹燥(zao)氣(qi)體(ti)進(jin)入(ru)取(qu)樣(yang)管(guan)路(lu)，這(zhe)時，將(jiang)兩(liang)臺(tai)相(xiang)同塵埃粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器同時或(huo)先後對(dui)取(qu)樣(yang)管(guan)進(jin)行(xing)抽樣(yang)測(ce)試(shi)，並(bing)比(bi)校(xiao)0.3um粒(li)徑(jing)的測(ce)試(shi)值。如(ru)果(guo)其(qi)平均值在20%以內(nei)，認為合格。如(ru)果(guo)不(bu)同型號的粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器，壹(yi)要(yao)弄清(qing)楚(chu)其(qi)流速(su)，取(qu)樣(yang)時(shi)間，取(qu)樣(yang)次(ci)數(shu)等參(can)數(shu)，並(bing)且(qie)，還(hai)要(yao)明(ming)白(bai)怎樣(yang)理(li)解(jie)其測(ce)試(shi)結(jie)果(guo)。塵埃粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)器
三(san).、校(xiao)正(zheng)的基(ji)本(ben)步驟(zhou)：
現假設對(dui)壹臺(tai)常(chang)見的Royco HH200作(zuo)校(xiao)正(zheng)
1、先，要清(qing)楚(chu)Royco 323和(he)HH200A有(you)何(he)差(cha)別，其測(ce)試(shi)原理(li)壹(yi)樣(yang)，但(dan)Royco 323流速(su)為1CFM（立方(fang)英尺/分鐘(zhong)），而Royco HH200則(ze)為0.1CFM。
2、將(jiang)潔凈(jing)臺(tai)開機，工作(zuo)半(ban)小時(shi)，其(qi)間內也(ye)打(da)開Royco 323和Royco HH200，讓(rang)其預(yu)熱半(ban)小時(shi)。
3、準備(bei)好255的取(qu)樣(yang)器(qi)管(guan)，並(bing)搭(da)接好其(qi)所有(you)氣(qi)體(ti)管(guan)路(lu)。
4、將(jiang)配(pei)好(hao)的標(biao)準液（如(ru)0.301um）放(fang)入(ru)脫(tuo)原子(zi)瓶中，註(zhu)意勿(wu)讓(rang)液體(ti)超(chao)過(guo)噴(pen)嘴。
5、設置(zhi)Royco323和Royco HH200的基(ji)本(ben)參數(shu)
（1）取(qu)樣(yang)時(shi)間都設置(zhi)為00：01：00
（2）取(qu)樣(yang)次(ci)數(shu)都設置(zhi)03
（3）取(qu)樣(yang)模(mo)式(shi)都設置(zhi)為Auto
（4）間隔時(shi)間都設置(zhi)為00：00：05
（5）讀數(shu)模(mo)式(shi)都設置(zhi)為Cumulative
註(zhu)：以上(shang)設置(zhi)相同，因其流速(su)有(you)10倍(bei)差(cha)，故(gu)Royco323測試(shi)結(jie)果(guo)會是Royco HH200的10倍(bei)。
6、打開255電(dian)源，調(tiao)節(jie)脫(tuo)原子(zi)氣(qi)體(ti)閥和幹燥(zao)氣(qi)體(ti)閥，在調(tiao)至噴嘴閥處呈(cheng)氣(qi)霧(wu)出(chu)現，幹燥(zao)氣(qi)體(ti)流速(su)計(ji)約(yue)60SCFH時(shi)後，保持其工作(zuo)狀(zhuang)態。
7、讓(rang)Royco 323和Royco HH200同時工作(zuo)，看(kan)其(qi)三(san)次的平(ping)均結(jie)果(guo)，若在20%以內(nei)，視(shi)為合(he)格。
8、拆下(xia)脫(tuo)原子(zi)瓶，重新(xin)滴入其(qi)它(ta)標準粒(li)子(zi)，重復該測(ce)試(shi)。
9、以上(shang)校(xiao)正(zheng)只(zhi)是對(dui)比(bi)校(xiao)正(zheng)，尚(shang)用萬用表對(dui)其(qi)基本(ben)參數(shu)測量，用示波(bo)器(qi)對其(qi)信號捕(bu)捉等來輔助(zhu)調(tiao)校(xiao)。
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