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簡(jian)要(yao)描述：NIST溯(su)源(yuan)尺(chi)度(du)標準，用於需要(yao)高(gao)度(du)視(shi)覺(jiao)反(fan)差的尺(chi)度標和(he)參考(kao)應用領(ling)域(yu)。SUR-CAL 為各(ge)種矽(gui)晶片的表面性狀(zhuang)的檢(jian)測(ce)和(he)標提供(gong)了(le)便利的工(gong)具。產品的粒徑復(fu)合(he)儀器(qi)廠(chang)家所需(xu)的各(ge)種規格(ge)。
產品(pin)型號：SURF-CAL 廠(chang)商(shang)性質(zhi)：經(jing)銷(xiao)商(shang)更新(xin)時(shi)間：2017-06-12訪(fang) 問(wen) 量(liang)：2282相(xiang)關文(wen)章(zhang)
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Duke PD1100 SURF-CAL 尺度標準微粒
NIST溯(su)源(yuan)尺(chi)度(du)標準，用於需要(yao)高(gao)度(du)視(shi)覺(jiao)反(fan)差的尺(chi)度標和(he)參考(kao)應用領(ling)域(yu)。SUR-CAL 為各(ge)種矽(gui)晶片的表面性狀(zhuang)的檢(jian)測(ce)和(he)標提供(gong)了(le)便利的工(gong)具。產品的粒徑復(fu)合(he)儀器(qi)廠(chang)家所需(xu)的各(ge)種規格(ge)。SURF-CAL系列產(chan)品完符(fu)合SEMI行(xing)業協(xie)會(hui)的建立的SSIS標指(zhi)導(dao)準則， 微粒粒徑縱(zong)貫0.047到(dao)3.0微(wei)米的範(fan)圍， 覆蓋(gai)了(le)半導(dao)體技術(shu)藍圖（ITRS）所義(yi)的關鍵(jian)質(zhi)控(kong)點。通過(guo)將(jiang)SUR-CAL聚苯(ben)乙烯乳膠微粒沈(chen)積在(zai)特的矽(gui)晶片（PSL）表面，用戶(hu)以(yi)對(dui)掃(sao)描(miao)儀進(jin)行(xing)周(zhou)期性(xing)標，並(bing)與(yu)其它(ta)的掃(sao)描(miao)儀進(jin)行(xing)對(dui)比。 用(yong)戶(hu)還(hai)以(yi)對(dui)生產環(huan)節(jie)中(zhong)關鍵(jian)階(jie)段(duan)SSIS的性(xing)能做出評估(gu)。產(chan)品(pin)包(bao)裝(zhuang)為50ml，微粒分散(san)於(yu)超(chao)凈(jing)過濾去離子水(shui)中(zhong)，微粒濃度(du) 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和(he)小(xiao)於(yu)這(zhe)壹(yi)粒徑的產(chan)品還(hai)提供(gong)1010 /ml 的產(chan)品包裝(zhuang)規格(ge)以(yi)滿(man)足(zu)需要(yao)使用差別(bie)移動(dong)粒子分(fen)析儀（DMA）和(he)其它(ta)尺(chi)寸排(pai)除技術(shu)粒子分(fen)析儀器(qi)的客戶(hu)需(xu)求。
尺度測(ce)量(liang)方法學：
為了(le)確保(bao)與(yu)NIST的直(zhi)接(jie)溯(su)源(yuan)性(xing)，產(chan)品(pin)的粒徑是(shi)直(zhi)接(jie)從NIST提供(gong)的標準參考微粒通過(guo)電(dian)子顯微鏡(jing)或(huo)光(guang)學(xue)顯微鏡(jing)的測(ce)量(liang)中(zhong)直接(jie)轉(zhuan)化而(er)成(cheng)的。尺(chi)度的不(bu)確性是依照NIST技術(shu)筆(bi)記1297方(fang)法（1994年版“NIST測(ce)量(liang)結果(guo)不確性評估(gu)指(zhi)導(dao)方(fang)案”）計算(suan)得(de)到(dao)的。產(chan)品中(zhong)所描(miao)述的不(bu)確性為擴(kuo)大性(xing)不(bu)確因素，覆蓋(gai)因(yin)子(zi)數(shu)為2 （K=2）。
微粒組成(cheng)： | 聚苯(ben)乙烯 |
微粒密度(du)： | 1.05g/cm3 |
微(wei)粒數(shu)量(liang)： | 3 x 108 or 1010顆/毫(hao)升 |
包裝(zhuang)規格(ge)： | 50ml瓶裝(zhuang)，每盒6瓶 |
微(wei)粒折(zhe)射(she)率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添加(jia)劑： | 無 |
產品保(bao)質期： | ≥2年(nian) |
存(cun)儲(chu)條(tiao)件(jian)： | 冰箱(xiang)儲藏（冰(bing)點以(yi)上）防止(zhi)冰(bing)凍(dong)，緊(jin)閉瓶蓋(gai)防(fang)止(zhi)汙染(ran) |
包裝(zhuang)內容(rong) | 標與(yu)溯(su)源(yuan)證書、粒子計(ji)數(shu)擬程(cheng)序(xu)、原(yuan)料安(an)數(shu)據表（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜(du)克(ke)標準粒子 熱電(dian)粒子 熱電(dian)標準粒子 thermo粒子 thermo標準粒子 賽默粒子 賽默標準粒子飛(fei)世(shi)爾粒子 飛(fei)世(shi)爾標準粒子 fisher粒子 fisher標準粒子 （Duke thermo fisher） 美(mei)國(guo)Duke杜(du)克(ke)標準粒子Duke標準粒子 聚苯(ben)乙烯 DUKE標準粒子/ 粒準乳膠球粒子/ 聚苯(ben)乙烯/ 標準微粒/ 微(wei)粒子/ Duke粒子 液(ye)體顆(ke)粒計數(shu)儀用(yong) Duke 杜(du)克(ke)3000系列20-900nm 產(chan)品(pin)描(miao)述： Duke 杜(du)克(ke)標準粒子 微(wei)粒 3000系列－聚苯(ben)乙烯納米微(wei)粒 20-900nm 儀器(qi)介紹 Duke科(ke)學(xue) Duke 杜(du)克(ke)標準粒子 微(wei)粒 SURF-CAL用(yong)於(yu)半導(dao)體晶片掃(sao)描(miao)，0.047-3um 美(mei)國(guo)Duke 杜(du)克(ke)標準粒子 3000 系列——-納(na)米尺(chi)寸標準粒子（15mL包(bao)裝(zhuang),1%固體含(han)量(liang)） Duke標準粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標準粒子 挑戰性(xing)標準粒子 STANDARDS-EY-Cal系列（2-70um） 標準顆粒 標準物質 DUKE粒子 標準粒子 杜(du)克(ke)粒子 美(mei)國(guo)杜克(ke) NIST粒子 NIST標準物質 溯(su)源(yuan)粒子 溯(su)源(yuan)物(wu)質(zhi) 溯(su)源(yuan)粒子 進(jin)口粒子 Duke 金(jin)屬和(he)礦物(wu)粒子和(he)微球 Duke Fluoro-Max 綠(lv)色和(he)紅色幹(gan)粉(fen)狀熒(ying)光微(wei)球 Duke Fluoro-Max熒(ying)光(guang)標記(ji)粒子-綠(lv)色 DUKE HEPA-CHECK過(guo)濾(lv)膜挑戰微(wei)粒 Duke OptiBind 聚苯(ben)乙烯（PS）微(wei)粒 Duke OptiLink 羧(suo)基(ji)修飾(shi)聚苯(ben)乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計(ji)數(shu)標準系列 Duke Power-Bind 鏈黴親和(he)素微(wei)粒 Duke Sera-Mag磁(ci)性(xing)微(wei)珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(ji)數(shu)精度尺(chi)度(du)標準微粒 Duke 粒子計(ji)數(shu)器(qi)標準 3K,4K系列 Duke 球形玻(bo)璃材料 Duke 8000系列矽(gui)微球尺寸標準粒子 Duke 9000系列玻(bo)璃微(wei)球尺寸標準粒子 Duke ChromoSphere-T彩(cai)色尺(chi)度(du)標準微粒 Duke Color-Rich染(ran)色羧(suo)基(ji)修飾(shi)微(wei)球 Duke COUNT-CAL標準顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(ji)數(shu)質控(kong)微(wei)粒 Duke Cyto-Cal Alignment光(guang)路(lu)排(pai)序(xu)校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微(wei)粒 Duke EY-CAL粒徑標準系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合(he)物微(wei)粒懸浮(fu)液 Duke 2000系列均(jun)勻(yun)尺度(du)聚合(he)物標準粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低(di)強度(du)驗(yan)證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒(ying)光(guang)強度(du)校正微粒 Clintex 標準粒子 Duke DRI-CAL系列幹(gan)粉(fen)標準粒子歐(ou)共(gong)體標準物質局(ju)（BCR）認(ren)證石英參考(kao)顆粒 Duke 3000系列納(na)米級(ji)尺(chi)度標準粒子 Duke ChromoSphere 彩(cai)色顯色微(wei)球 - 幹(gan)粉(fen) Duke 花(hua)粉(fen)和(he)孢子(zi)非(fei)高(gao)分(fen)子(zi)聚合(he)物微(wei)粒——球形植物孢粒和(he)花(hua)粉(fen) Duke Fluoro-Max 水(shui)相(xiang)懸(xuan)浮(fu)綠(lv)色 紅(hong)色 藍(lan)色熒(ying)光(guang)微(wei)球 Duke 7000系列共(gong)聚物(wu)微粒懸浮(fu)液 Duke SURF-CAL尺(chi)度(du)標準微粒 Duke 4000系列聚合(he)物微(wei)球尺寸標準粒子 Duke EY-CAL粒徑標準系列
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