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簡要(yao)描(miao)述：NIST溯源(yuan)尺度(du)標準(zhun)，用(yong)於需要(yao)高(gao)度(du)視覺(jiao)反差的尺(chi)度(du)標和參(can)考(kao)應用(yong)領域(yu)。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種矽晶片(pian)的(de)表面(mian)性(xing)狀的檢測(ce)和標提供(gong)了(le)便利的工(gong)具。產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑(jing)復合儀(yi)器廠家所(suo)需的各(ge)種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系列產(chan)品(pin)完符合SEMI行(xing)業(ye)協會(hui)的建(jian)立的(de)SSIS標指(zhi)導準則(ze)， 微粒(li)粒徑(jing)縱(zong)貫(guan)0.047到3.0微(wei)米的(de)範(fan)圍(wei)， 覆蓋(gai)了(le)半導體(ti)技術(shu)藍(lan)圖（ITRS）所(suo)義的關(guan)鍵質控(kong)點
產(chan)品(pin)型(xing)號(hao)：SURF-CAL 廠商(shang)性(xing)質：經銷商(shang)更新時間：2017-06-11訪(fang) 問 量：3290相(xiang)關(guan)文章(zhang)
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Duke PD-092 SURF-CAL 尺(chi)度(du)標準(zhun)微(wei)粒
NIST溯(su)源(yuan)尺度(du)標準(zhun)，用(yong)於需要(yao)高(gao)度(du)視覺(jiao)反差的尺(chi)度(du)標和參(can)考(kao)應用(yong)領域(yu)。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種矽晶片(pian)的(de)表面(mian)性(xing)狀的檢測(ce)和標提供(gong)了(le)便利的工(gong)具。產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑(jing)復合儀(yi)器廠家所(suo)需的各(ge)種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系列產(chan)品(pin)完符合SEMI行(xing)業(ye)協會(hui)的建(jian)立的(de)SSIS標指(zhi)導準則(ze)， 微粒(li)粒徑(jing)縱(zong)貫(guan)0.047到3.0微(wei)米的(de)範(fan)圍(wei)， 覆蓋(gai)了(le)半導體(ti)技術(shu)藍(lan)圖（ITRS）所(suo)義的關(guan)鍵質控(kong)點。通(tong)過將SUR-CAL聚苯乙(yi)烯乳(ru)膠(jiao)微(wei)粒沈(chen)積(ji)在(zai)特(te)的(de)矽晶片(pian)（PSL）表面(mian)，用(yong)戶(hu)以(yi)對掃(sao)描儀(yi)進(jin)行(xing)周(zhou)期性(xing)標，並(bing)與其它的掃(sao)描(miao)儀(yi)進行(xing)對(dui)比(bi)。 用(yong)戶(hu)還以(yi)對生(sheng)產(chan)環節中關(guan)鍵階段(duan)SSIS的(de)性(xing)能(neng)做出評估(gu)。產(chan)品(pin)包裝(zhuang)為(wei)50ml，微(wei)粒分散於超凈(jing)過濾去(qu)離子水(shui)中，微粒濃度(du) 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑(jing)1.112 μm）和小(xiao)於這壹(yi)粒(li)徑(jing)的產(chan)品(pin)還提供(gong)1010 /ml 的(de)產(chan)品(pin)包裝(zhuang)規(gui)格(ge)以(yi)滿足需要(yao)使(shi)用(yong)差別移(yi)動粒(li)子分析(xi)儀(yi)（DMA）和其(qi)它(ta)尺寸(cun)排除技術(shu)粒子分析(xi)儀(yi)器(qi)的(de)客(ke)戶(hu)需求。
尺度(du)測(ce)量(liang)方(fang)法(fa)學(xue)：
為(wei)了(le)確(que)保(bao)與NIST的直(zhi)接(jie)溯源(yuan)性(xing)，產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑(jing)是(shi)直(zhi)接(jie)從(cong)NIST提供(gong)的(de)標準(zhun)參(can)考(kao)微粒(li)通(tong)過電子顯(xian)微鏡(jing)或(huo)光學(xue)顯(xian)微鏡(jing)的(de)測(ce)量(liang)中直(zhi)接(jie)轉(zhuan)化而(er)成(cheng)的(de)。尺度(du)的不(bu)確性(xing)是(shi)依照(zhao)NIST技術(shu)筆(bi)記(ji)1297方(fang)法(fa)（1994年版(ban)“NIST測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)不(bu)確(que)性(xing)評估(gu)指(zhi)導方(fang)案”）計算(suan)得到的。產(chan)品(pin)中(zhong)所(suo)描述(shu)的不(bu)確性(xing)為(wei)擴(kuo)大性(xing)不確因(yin)素，覆蓋(gai)因(yin)子數為(wei)2 （K=2）。
微(wei)粒組(zu)成(cheng)： | 聚苯乙(yi)烯 |
微(wei)粒密(mi)度(du)： | 1.05g/cm3 |
微(wei)粒數量(liang)： | 3 x 108 or 1010顆(ke)/毫(hao)升(sheng) |
包裝(zhuang)規(gui)格(ge)： | 50ml瓶(ping)裝(zhuang)，每盒6瓶 |
微粒(li)折射率(lv)： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添加劑(ji)： | 無(wu) |
產(chan)品(pin)保(bao)質(zhi)期： | ≥2年 |
存儲條(tiao)件(jian)： | 冰(bing)箱(xiang)儲藏（冰(bing)點(dian)以(yi)上(shang)）防止冰(bing)凍(dong)，緊(jin)閉(bi)瓶(ping)蓋(gai)防止汙(wu)染 |
包裝(zhuang)內(nei)容 | 標與溯源(yuan)證(zheng)書(shu)、粒子計數擬程(cheng)序、原料安數據(ju)表（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜(du)克(ke)標準(zhun)粒(li)子 熱(re)電粒子 熱(re)電標準(zhun)粒(li)子 thermo粒(li)子 thermo標準(zhun)粒(li)子 賽(sai)默粒子 賽(sai)默標準(zhun)粒(li)子飛世(shi)爾粒(li)子 飛世(shi)爾標準(zhun)粒(li)子 fisher粒(li)子 fisher標準(zhun)粒(li)子 （Duke thermo fisher） 美(mei)國(guo)Duke杜(du)克(ke)標準(zhun)粒(li)子Duke標準(zhun)粒(li)子 聚苯乙(yi)烯 DUKE標準(zhun)粒(li)子/ 粒(li)準乳(ru)膠(jiao)球(qiu)粒子/ 聚苯乙(yi)烯/ 標準(zhun)微(wei)粒/ 微(wei)粒子/ Duke粒(li)子 液(ye)體(ti)顆(ke)粒計(ji)數儀(yi)用(yong) Duke 杜(du)克(ke)3000系列20-900nm 產(chan)品(pin)描(miao)述(shu)： Duke 杜(du)克(ke)標準(zhun)粒(li)子 微(wei)粒 3000系列－聚苯乙(yi)烯納(na)米微(wei)粒 20-900nm 儀(yi)器介紹(shao) Duke科(ke)學(xue) Duke 杜(du)克(ke)標準(zhun)粒(li)子 微(wei)粒 SURF-CAL用(yong)於半導體(ti)晶(jing)片掃(sao)描，0.047-3um 美(mei)國(guo)Duke 杜(du)克(ke)標準(zhun)粒(li)子 3000 系列——-納(na)米尺(chi)寸(cun)標準(zhun)粒(li)子（15mL包裝(zhuang),1%固(gu)體(ti)含(han)量） Duke標準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標準(zhun)粒(li)子 挑(tiao)戰性(xing)標準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-EY-Cal系列（2-70um） 標準(zhun)顆(ke)粒 標準(zhun)物(wu)質 DUKE粒(li)子 標準(zhun)粒(li)子 杜(du)克(ke)粒(li)子 美(mei)國(guo)杜克(ke) NIST粒(li)子 NIST標準(zhun)物(wu)質 溯(su)源(yuan)粒子 溯(su)源(yuan)物質 溯(su)源(yuan)粒子 進(jin)口(kou)粒(li)子 Duke 金屬(shu)和礦(kuang)物(wu)粒子和微(wei)球(qiu) Duke Fluoro-Max 綠(lv)色(se)和紅(hong)色(se)幹粉(fen)狀熒(ying)光微(wei)球(qiu) Duke Fluoro-Max熒(ying)光標記(ji)粒(li)子-綠(lv)色(se) DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑(tiao)戰微粒(li) Duke OptiBind 聚苯乙(yi)烯（PS）微(wei)粒 Duke OptiLink 羧基(ji)修(xiu)飾(shi)聚苯乙(yi)烯微(wei)粒 Duke PHARM-TRO計(ji)數標準(zhun)系列 Duke Power-Bind 鏈(lian)黴(mei)親(qin)和素(su)微(wei)粒 Duke Sera-Mag磁(ci)性(xing)微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(ji)數精(jing)度(du)尺度(du)標準(zhun)微(wei)粒 Duke 粒(li)子計數器(qi)標準(zhun) 3K,4K系列 Duke 球(qiu)形玻(bo)璃(li)材料 Duke 8000系列矽微(wei)球尺(chi)寸(cun)標準(zhun)粒(li)子 Duke 9000系列玻(bo)璃(li)微球(qiu)尺寸(cun)標準(zhun)粒(li)子 Duke ChromoSphere-T彩色(se)尺度(du)標準(zhun)微(wei)粒 Duke Color-Rich染色(se)羧基(ji)修(xiu)飾(shi)微球 Duke COUNT-CAL標準(zhun)顆(ke)粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(ji)數質(zhi)控(kong)微粒(li) Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微(wei)粒 Duke EY-CAL粒(li)徑(jing)標準(zhun)系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物(wu)微粒(li)懸浮(fu)液(ye) Duke 2000系列均(jun)勻(yun)尺度(du)聚合物(wu)標準(zhun)粒(li)子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低(di)強度(du)驗證(zheng)微粒(li) Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒(ying)光強度(du)校正(zheng)微粒(li) Clintex 標準(zhun)粒(li)子 Duke DRI-CAL系列幹粉(fen)標準(zhun)粒(li)子歐(ou)共(gong)體(ti)標準(zhun)物(wu)質局(ju)（BCR）認(ren)證(zheng)石(shi)英參考(kao)顆(ke)粒 Duke 3000系列納米(mi)級(ji)尺度(du)標準(zhun)粒(li)子 Duke ChromoSphere 彩色(se)顯(xian)色(se)微球 - 幹粉(fen) Duke 花(hua)粉和孢(bao)子非高(gao)分子聚合物(wu)微粒(li)——球(qiu)形植(zhi)物孢(bao)粒(li)和花(hua)粉(fen) Duke Fluoro-Max 水(shui)相懸浮綠(lv)色(se) 紅(hong)色(se) 藍(lan)色(se)熒(ying)光微(wei)球(qiu) Duke 7000系列共(gong)聚物(wu)微(wei)粒懸浮液(ye) Duke SURF-CAL尺(chi)度(du)標準(zhun)微(wei)粒 Duke 4000系列聚合物(wu)微球(qiu)尺寸(cun)標準(zhun)粒(li)子 Duke EY-CAL粒(li)徑(jing)標準(zhun)系列
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