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簡要描(miao)述(shu)：NIST溯(su)源尺度標(biao)準(zhun)，用(yong)於(yu)需(xu)要高(gao)度(du)視覺反(fan)差(cha)的尺(chi)度標(biao)和參考(kao)應(ying)用領(ling)域。SUR-CAL 為各(ge)種矽晶(jing)片(pian)的表(biao)面性(xing)狀(zhuang)的(de)檢測(ce)和標(biao)提(ti)供了(le)便(bian)利(li)的(de)工(gong)具(ju)。產品的粒(li)徑復(fu)合(he)儀器廠(chang)家(jia)所(suo)需(xu)的各(ge)種規格(ge)。SURF-CAL系(xi)列產品(pin)完(wan)符(fu)合(he)SEMI行業協(xie)會(hui)的建立(li)的(de)SSIS標(biao)指導準(zhun)則(ze)， 微粒(li)粒(li)徑縱貫(guan)0.047到(dao)3.0微米(mi)的(de)範圍(wei)， 覆蓋(gai)了(le)半導(dao)體技術(shu)藍圖(tu)（ITRS）所(suo)義的(de)關鍵(jian)質(zhi)控點(dian)
產品型號：SURF-CAL 廠(chang)商(shang)性質(zhi)：經(jing)銷(xiao)商更新時(shi)間：2017-06-11訪 問(wen) 量：2650相(xiang)關文(wen)章(zhang)
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Duke PD-100 SURF-CAL 尺度標(biao)準(zhun)微粒(li)
NIST溯源尺度標(biao)準(zhun)，用(yong)於(yu)需(xu)要高(gao)度(du)視覺反(fan)差(cha)的尺(chi)度標(biao)和參考(kao)應(ying)用領(ling)域。SUR-CAL 為各(ge)種矽晶(jing)片(pian)的表(biao)面性(xing)狀(zhuang)的(de)檢測(ce)和標(biao)提(ti)供了(le)便(bian)利(li)的(de)工(gong)具(ju)。產品的粒(li)徑復(fu)合(he)儀器廠(chang)家(jia)所(suo)需(xu)的各(ge)種規格(ge)。SURF-CAL系(xi)列產品(pin)完(wan)符(fu)合(he)SEMI行業協(xie)會(hui)的建立(li)的(de)SSIS標(biao)指導準(zhun)則(ze)， 微粒(li)粒(li)徑縱貫(guan)0.047到(dao)3.0微米(mi)的(de)範圍(wei)， 覆蓋(gai)了(le)半導(dao)體技術(shu)藍圖(tu)（ITRS）所(suo)義的(de)關鍵(jian)質(zhi)控點(dian)。通(tong)過將(jiang)SUR-CAL聚苯(ben)乙烯乳(ru)膠(jiao)微粒(li)沈積(ji)在(zai)特的矽晶(jing)片（PSL）表(biao)面，用(yong)戶(hu)以(yi)對(dui)掃描(miao)儀進行周期性標(biao)，並(bing)與(yu)其(qi)它(ta)的(de)掃描(miao)儀進行對(dui)比。 用戶還以對(dui)生產環節中關鍵(jian)階段(duan)SSIS的性能(neng)做(zuo)出評(ping)估。產(chan)品(pin)包裝為50ml，微粒(li)分散於超凈過濾去(qu)離子(zi)水中，微粒(li)濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒(li)徑1.112 μm）和小於(yu)這(zhe)壹粒(li)徑的產品還提(ti)供1010 /ml 的(de)產品包裝(zhuang)規(gui)格(ge)以滿足需(xu)要使(shi)用(yong)差(cha)別移動(dong)粒(li)子分析儀（DMA）和其它(ta)尺寸排(pai)除技(ji)術(shu)粒(li)子分析儀器的(de)客戶需(xu)求。
尺(chi)度(du)測(ce)量方法(fa)學(xue)：
為了(le)確(que)保(bao)與(yu)NIST的(de)直(zhi)接溯(su)源性，產品(pin)的(de)粒(li)徑是(shi)直(zhi)接從(cong)NIST提(ti)供(gong)的(de)標(biao)準(zhun)參考(kao)微粒(li)通(tong)過電子(zi)顯微鏡或(huo)光(guang)學(xue)顯(xian)微鏡的測(ce)量中直(zhi)接轉(zhuan)化而成(cheng)的。尺(chi)度(du)的不(bu)確(que)性(xing)是(shi)依(yi)照(zhao)NIST技(ji)術(shu)筆(bi)記(ji)1297方(fang)法（1994年版“NIST測(ce)量結果不(bu)確(que)性(xing)評(ping)估指導方案”）計(ji)算(suan)得(de)到(dao)的。產品中所(suo)描(miao)述(shu)的(de)不(bu)確(que)性(xing)為(wei)擴大性不(bu)確(que)因素，覆蓋(gai)因子數(shu)為(wei)2 （K=2）。
微粒(li)組成： | 聚苯(ben)乙烯 |
微粒(li)密度： | 1.05g/cm3 |
微粒(li)數量： | 3 x 108 or 1010顆/毫(hao)升(sheng) |
包裝(zhuang)規格(ge)： | 50ml瓶(ping)裝(zhuang)，每(mei)盒(he)6瓶(ping) |
微粒(li)折射率(lv)： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添加(jia)劑(ji)： | 無 |
產品(pin)保(bao)質(zhi)期： | ≥2年 |
存儲條(tiao)件： | 冰箱儲藏（冰點(dian)以上）防止冰凍(dong)，緊閉瓶(ping)蓋(gai)防(fang)止汙染 |
包裝(zhuang)內(nei)容(rong) | 標(biao)與(yu)溯(su)源證書、粒(li)子計(ji)數擬(ni)程序、原(yuan)料(liao)安數據(ju)表(biao)（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 熱電粒(li)子 熱電標(biao)準(zhun)粒(li)子 thermo粒(li)子 thermo標(biao)準(zhun)粒(li)子 賽默(mo)粒(li)子 賽默(mo)標(biao)準(zhun)粒(li)子飛(fei)世(shi)爾粒(li)子 飛(fei)世(shi)爾標(biao)準(zhun)粒(li)子 fisher粒(li)子 fisher標(biao)準(zhun)粒(li)子 （Duke thermo fisher） 美國Duke杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 聚苯(ben)乙烯 DUKE標(biao)準(zhun)粒(li)子/ 粒(li)準(zhun)乳(ru)膠(jiao)球(qiu)粒(li)子/ 聚苯(ben)乙烯/ 標(biao)準(zhun)微粒(li)/ 微粒(li)子/ Duke粒(li)子 液(ye)體顆粒(li)計(ji)數儀用 Duke 杜克(ke)3000系(xi)列20-900nm 產(chan)品描(miao)述(shu)： Duke 杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 微粒(li) 3000系(xi)列－聚苯(ben)乙烯納(na)米(mi)微粒(li) 20-900nm 儀器介(jie)紹 Duke科(ke)學 Duke 杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 微粒(li) SURF-CAL用(yong)於半導(dao)體晶片(pian)掃描(miao)，0.047-3um 美國Duke 杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 3000 系(xi)列——-納(na)米(mi)尺(chi)寸標(biao)準(zhun)粒(li)子（15mL包(bao)裝,1%固(gu)體含(han)量） Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-COUNT-CAL系(xi)列 Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 挑(tiao)戰(zhan)性標(biao)準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-EY-Cal系(xi)列（2-70um） 標(biao)準(zhun)顆粒(li) 標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi) DUKE粒(li)子 標(biao)準(zhun)粒(li)子 杜克(ke)粒(li)子 美國杜克(ke) NIST粒(li)子 NIST標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi) 溯(su)源粒(li)子 溯(su)源物質(zhi) 溯(su)源粒(li)子 進(jin)口粒(li)子 Duke 金(jin)屬(shu)和礦物(wu)粒(li)子和微球 Duke Fluoro-Max 綠(lv)色(se)和紅(hong)色(se)幹粉狀熒(ying)光微球 Duke Fluoro-Max熒(ying)光標(biao)記(ji)粒(li)子-綠(lv)色(se) DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑(tiao)戰(zhan)微粒(li) Duke OptiBind 聚苯(ben)乙烯（PS）微粒(li) Duke OptiLink 羧(suo)基(ji)修(xiu)飾聚苯(ben)乙烯微粒(li) Duke PHARM-TRO計(ji)數標(biao)準(zhun)系(xi)列 Duke Power-Bind 鏈(lian)黴(mei)親和素微粒(li) Duke Sera-Mag磁(ci)性微珠(zhu) Duke Smoke-Check Duke Validex 計(ji)數精(jing)度尺度標(biao)準(zhun)微粒(li) Duke 粒(li)子計(ji)數器標(biao)準(zhun) 3K,4K系(xi)列 Duke 球(qiu)形玻(bo)璃材料 Duke 8000系(xi)列矽微球尺寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke 9000系(xi)列玻(bo)璃微球尺寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke ChromoSphere-T彩(cai)色(se)尺度標(biao)準(zhun)微粒(li) Duke Color-Rich染(ran)色(se)羧基(ji)修(xiu)飾微球 Duke COUNT-CAL標(biao)準(zhun)顆粒(li) Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(ji)數質(zhi)控微粒(li) Duke Cyto-Cal Alignment光(guang)路排(pai)序校(xiao)正微粒(li) Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒(li) Duke EY-CAL粒(li)徑標(biao)準(zhun)系(xi)列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系(xi)列聚合(he)物微粒(li)懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke 2000系(xi)列均勻尺度(du)聚合(he)物標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低(di)強度驗(yan)證微粒(li) Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多(duo)熒光(guang)強度校(xiao)正微粒(li) Clintex 標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke DRI-CAL系(xi)列幹粉標(biao)準(zhun)粒(li)子歐共體(ti)標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi)局(ju)（BCR）認(ren)證石(shi)英參考(kao)顆粒(li) Duke 3000系(xi)列納米(mi)級尺度(du)標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke ChromoSphere 彩(cai)色(se)顯色(se)微球 - 幹(gan)粉 Duke 花粉和孢(bao)子非高(gao)分子(zi)聚合(he)物微粒(li)——球(qiu)形植(zhi)物孢(bao)粒(li)和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸(xuan)浮(fu)綠(lv)色(se) 紅(hong)色(se) 藍色(se)熒光微球 Duke 7000系(xi)列共聚物(wu)微粒(li)懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke SURF-CAL尺(chi)度標(biao)準(zhun)微粒(li) Duke 4000系(xi)列聚合(he)物微球尺寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke EY-CAL粒(li)徑標(biao)準(zhun)系(xi)列
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