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簡要(yao)描述(shu)：NIST溯源(yuan)尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)，用(yong)於(yu)需要(yao)高度視覺反(fan)差(cha)的尺(chi)度(du)標(biao)和參考應用(yong)領域。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種(zhong)矽晶(jing)片(pian)的表面性狀的檢測和標(biao)提(ti)供了(le)便(bian)利的工具(ju)。產品(pin)的粒徑(jing)復(fu)合(he)儀(yi)器(qi)廠(chang)家所需的各(ge)種(zhong)規格。SURF-CAL系列(lie)產品完(wan)符(fu)合(he)SEMI行(xing)業(ye)協會的建立的SSIS標(biao)指(zhi)導(dao)準(zhun)則(ze)， 微粒粒徑(jing)縱貫0.047到(dao)3.0微米(mi)的範(fan)圍(wei)， 覆(fu)蓋(gai)了(le)半導(dao)體(ti)技(ji)術藍圖（ITRS）所(suo)義(yi)的關鍵(jian)質控點。
產品型號(hao)：SURF-CAL 廠(chang)商性質：經銷(xiao)商更(geng)新(xin)時(shi)間(jian)：2017-06-11訪 問 量(liang)：2779相關文(wen)章(zhang)
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Duke PD-155 SURF-CAL 尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒
NIST溯(su)源(yuan)尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)，用(yong)於(yu)需要(yao)高度視覺反(fan)差(cha)的尺(chi)度(du)標(biao)和參考應用(yong)領域。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種(zhong)矽晶(jing)片(pian)的表面性狀的檢測和標(biao)提(ti)供了(le)便(bian)利的工具(ju)。產品(pin)的粒徑(jing)復(fu)合(he)儀(yi)器(qi)廠(chang)家所需的各(ge)種(zhong)規格。SURF-CAL系列(lie)產品完(wan)符(fu)合(he)SEMI行(xing)業(ye)協會的建立的SSIS標(biao)指(zhi)導(dao)準(zhun)則(ze)， 微粒粒徑(jing)縱貫0.047到(dao)3.0微米(mi)的範(fan)圍(wei)， 覆(fu)蓋(gai)了(le)半導(dao)體(ti)技(ji)術藍圖（ITRS）所(suo)義(yi)的關鍵(jian)質控點。通過將(jiang)SUR-CAL聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)乳膠(jiao)微粒沈(chen)積在特(te)的矽晶(jing)片(pian)（PSL）表面，用(yong)戶(hu)以(yi)對掃描儀(yi)進(jin)行(xing)周(zhou)期性標(biao)，並(bing)與其它(ta)的掃描(miao)儀(yi)進(jin)行(xing)對(dui)比。 用(yong)戶(hu)還(hai)以對生產(chan)環節中(zhong)關鍵(jian)階(jie)段(duan)SSIS的性能做(zuo)出(chu)評(ping)估(gu)。產(chan)品(pin)包裝為50ml，微粒分散(san)於(yu)超(chao)凈(jing)過(guo)濾去離子水(shui)中(zhong)，微粒濃(nong)度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑(jing)1.112 μm）和小於(yu)這壹粒徑(jing)的產品(pin)還提(ti)供1010 /ml 的產品(pin)包裝(zhuang)規格以滿(man)足需要(yao)使用(yong)差(cha)別移(yi)動粒子分析儀(yi)（DMA）和其它(ta)尺(chi)寸(cun)排除(chu)技(ji)術粒子分析儀(yi)器(qi)的客戶(hu)需求。
尺(chi)度(du)測量(liang)方(fang)法學(xue)：
為了(le)確(que)保與(yu)NIST的直接(jie)溯源(yuan)性，產品(pin)的粒徑(jing)是(shi)直接(jie)從NIST提(ti)供的標(biao)準(zhun)參考微粒通(tong)過(guo)電子顯微鏡或光學(xue)顯微鏡的測量(liang)中直接(jie)轉(zhuan)化(hua)而成的。尺(chi)度(du)的不確(que)性是(shi)依照(zhao)NIST技(ji)術筆記1297方(fang)法（1994年(nian)版(ban)“NIST測量(liang)結果(guo)不(bu)確(que)性評(ping)估(gu)指(zhi)導(dao)方(fang)案”）計算得(de)到(dao)的。產品(pin)中所(suo)描(miao)述(shu)的不確(que)性為擴大(da)性不確(que)因素(su)，覆(fu)蓋(gai)因子數(shu)為(wei)2 （K=2）。
微粒組(zu)成： | 聚(ju)苯(ben)乙烯(xi) |
微粒密(mi)度(du)： | 1.05g/cm3 |
微粒數(shu)量(liang)： | 3 x 108 or 1010顆(ke)/毫(hao)升(sheng) |
包(bao)裝規格： | 50ml瓶裝(zhuang)，每(mei)盒6瓶 |
微粒折射(she)率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添加劑(ji)： | 無 |
產(chan)品保質(zhi)期(qi)： | ≥2年 |
存儲(chu)條件(jian)： | 冰(bing)箱儲(chu)藏（冰(bing)點以(yi)上(shang)）防止冰(bing)凍，緊閉瓶蓋(gai)防(fang)止(zhi)汙染 |
包(bao)裝內(nei)容 | 標(biao)與(yu)溯(su)源(yuan)證(zheng)書、粒子計數(shu)擬(ni)程(cheng)序、原料安數(shu)據(ju)表（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒子 熱電粒子 熱電標(biao)準(zhun)粒子 thermo粒子 thermo標(biao)準(zhun)粒子 賽(sai)默(mo)粒子 賽(sai)默(mo)標(biao)準(zhun)粒子飛(fei)世爾(er)粒子 飛(fei)世爾(er)標(biao)準(zhun)粒子 fisher粒子 fisher標(biao)準(zhun)粒子 （Duke thermo fisher） 美國(guo)Duke杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒子Duke標(biao)準(zhun)粒子 聚(ju)苯(ben)乙烯(xi) DUKE標(biao)準(zhun)粒子/ 粒準(zhun)乳膠(jiao)球粒子/ 聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)/ 標(biao)準(zhun)微粒/ 微粒子/ Duke粒子 液體(ti)顆(ke)粒計(ji)數(shu)儀(yi)用(yong) Duke 杜(du)克(ke)3000系列20-900nm 產品(pin)描(miao)述(shu)： Duke 杜克(ke)標(biao)準(zhun)粒子 微粒 3000系列(lie)－聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)納(na)米(mi)微粒 20-900nm 儀(yi)器(qi)介(jie)紹 Duke科(ke)學(xue) Duke 杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒子 微粒 SURF-CAL用(yong)於(yu)半導(dao)體(ti)晶(jing)片(pian)掃(sao)描(miao)，0.047-3um 美(mei)國(guo)Duke 杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒子 3000 系列(lie)——-納(na)米(mi)尺(chi)寸(cun)標(biao)準(zhun)粒子（15mL包裝(zhuang),1%固(gu)體含(han)量(liang)） Duke標(biao)準(zhun)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列(lie) Duke標(biao)準(zhun)粒子 挑戰性標(biao)準(zhun)粒子 STANDARDS-EY-Cal系列(lie)（2-70um） 標(biao)準(zhun)顆(ke)粒 標(biao)準(zhun)物質(zhi) DUKE粒子 標(biao)準(zhun)粒子 杜克(ke)粒子 美國(guo)杜(du)克(ke) NIST粒子 NIST標(biao)準(zhun)物質(zhi) 溯源(yuan)粒子 溯源(yuan)物(wu)質(zhi) 溯(su)源(yuan)粒子 進口粒子 Duke 金(jin)屬(shu)和礦物(wu)粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠(lv)色和紅色幹(gan)粉狀熒(ying)光(guang)微球 Duke Fluoro-Max熒(ying)光(guang)標(biao)記(ji)粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰微粒 Duke OptiBind 聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)（PS）微粒 Duke OptiLink 羧(suo)基修飾聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)微粒 Duke PHARM-TRO計數(shu)標(biao)準(zhun)系列(lie) Duke Power-Bind 鏈黴(mei)親和素(su)微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(ji)數(shu)精(jing)度尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒 Duke 粒子計數(shu)器(qi)標(biao)準(zhun) 3K,4K系(xi)列(lie) Duke 球形玻(bo)璃(li)材料 Duke 8000系(xi)列矽微球尺(chi)寸(cun)標(biao)準(zhun)粒子 Duke 9000系列(lie)玻(bo)璃(li)微球尺(chi)寸(cun)標(biao)準(zhun)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒 Duke Color-Rich染色羧(suo)基修飾微球 Duke COUNT-CAL標(biao)準(zhun)顆(ke)粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計數(shu)質(zhi)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路(lu)排序校(xiao)正(zheng)微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EY-CAL粒徑(jing)標(biao)準(zhun)系列(lie) Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列(lie)聚(ju)合(he)物微粒懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke 2000系(xi)列均勻(yun)尺(chi)度(du)聚(ju)合(he)物標(biao)準(zhun)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiang)度(du)驗證(zheng)微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒(ying)光(guang)強(qiang)度(du)校(xiao)正(zheng)微粒 Clintex 標(biao)準(zhun)粒子 Duke DRI-CAL系列(lie)幹(gan)粉標(biao)準(zhun)粒子歐共體標(biao)準(zhun)物質(zhi)局(ju)（BCR）認(ren)證(zheng)石(shi)英(ying)參考顆(ke)粒 Duke 3000系列(lie)納(na)米(mi)級(ji)尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 幹(gan)粉 Duke 花(hua)粉(fen)和孢子非高分子聚(ju)合(he)物微粒——球形植物(wu)孢粒和花(hua)粉(fen) Duke Fluoro-Max 水(shui)相懸浮(fu)綠(lv)色 紅色 藍色熒(ying)光(guang)微球 Duke 7000系(xi)列(lie)共聚(ju)物(wu)微粒懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke SURF-CAL尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒 Duke 4000系列(lie)聚(ju)合(he)物微球尺(chi)寸(cun)標(biao)準(zhun)粒子 Duke EY-CAL粒徑(jing)標(biao)準(zhun)系列(lie)
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