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簡要(yao)描述：NIST溯(su)源(yuan)尺度(du)標準(zhun)，用於(yu)需(xu)要(yao)高度(du)視(shi)覺(jiao)反差(cha)的(de)尺(chi)度(du)標(biao)和參考應用領(ling)域。SUR-CAL 為(wei)各種(zhong)矽晶(jing)片(pian)的(de)表(biao)面性(xing)狀(zhuang)的(de)檢測(ce)和標提供了便(bian)利的(de)工(gong)具(ju)。產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑復合(he)儀器(qi)廠家所(suo)需(xu)的(de)各(ge)種(zhong)規格。SURF-CAL系列(lie)產品(pin)完符(fu)合SEMI行業(ye)協(xie)會的(de)建(jian)立(li)的(de)SSIS標(biao)指(zhi)導(dao)準(zhun)則， 微粒(li)粒(li)徑縱貫(guan)0.047到3.0微米(mi)的(de)範(fan)圍(wei)， 覆(fu)蓋(gai)了半(ban)導(dao)體(ti)技(ji)術(shu)藍(lan)圖(tu)（ITRS）所(suo)義的(de)關(guan)鍵(jian)質(zhi)控點(dian)
產品型(xing)號：SURF-CAL 廠商性(xing)質(zhi)：經(jing)銷(xiao)商(shang)更(geng)新(xin)時間：2016-05-10訪 問 量(liang)：3260相關(guan)文(wen)章(zhang)
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Duke PD-200 SURF-CAL 尺(chi)度(du)標準(zhun)微粒(li)
NIST溯(su)源(yuan)尺度(du)標準(zhun)，用於(yu)需(xu)要(yao)高度(du)視(shi)覺(jiao)反差(cha)的(de)尺(chi)度(du)標(biao)和參考應用領(ling)域。SUR-CAL 為(wei)各種(zhong)矽晶(jing)片(pian)的(de)表(biao)面性(xing)狀(zhuang)的(de)檢測(ce)和標提供了便(bian)利的(de)工(gong)具(ju)。產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑復合(he)儀器(qi)廠家所(suo)需(xu)的(de)各(ge)種(zhong)規格。SURF-CAL系列(lie)產品(pin)完符(fu)合SEMI行(xing)業(ye)協(xie)會的(de)建(jian)立(li)的(de)SSIS標(biao)指(zhi)導準(zhun)則， 微粒(li)粒(li)徑縱貫(guan)0.047到(dao)3.0微米(mi)的(de)範(fan)圍(wei)， 覆(fu)蓋(gai)了半(ban)導(dao)體(ti)技(ji)術(shu)藍(lan)圖(tu)（ITRS）所(suo)義的(de)關(guan)鍵(jian)質(zhi)控點(dian)。通過將(jiang)SUR-CAL聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)乳膠微粒(li)沈積(ji)在(zai)特(te)的(de)矽晶(jing)片(pian)（PSL）表(biao)面，用戶以(yi)對(dui)掃描儀進行(xing)周(zhou)期(qi)性(xing)標(biao)，並(bing)與其它(ta)的(de)掃描儀進行(xing)對(dui)比。 用戶還(hai)以(yi)對生產環節中(zhong)關鍵(jian)階段SSIS的(de)性(xing)能(neng)做(zuo)出(chu)評估(gu)。產(chan)品包裝(zhuang)為(wei)50ml，微粒(li)分散於(yu)超(chao)凈過濾去離子(zi)水(shui)中(zhong)，微粒(li)濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒(li)徑1.112 μm）和小(xiao)於(yu)這(zhe)壹(yi)粒(li)徑的(de)產(chan)品(pin)還(hai)提(ti)供1010 /ml 的(de)產(chan)品(pin)包裝(zhuang)規格以滿(man)足需(xu)要(yao)使用差(cha)別移動粒(li)子分析(xi)儀(yi)（DMA）和其它(ta)尺寸排除技術(shu)粒(li)子分析(xi)儀(yi)器(qi)的(de)客戶需(xu)求。
尺度(du)測(ce)量(liang)方(fang)法(fa)學：
為(wei)了確保(bao)與NIST的(de)直(zhi)接溯(su)源(yuan)性(xing)，產(chan)品(pin)的(de)粒(li)徑是直(zhi)接從NIST提(ti)供(gong)的(de)標(biao)準(zhun)參考微粒(li)通過電(dian)子(zi)顯(xian)微鏡或光(guang)學顯(xian)微鏡的(de)測(ce)量(liang)中(zhong)直(zhi)接轉化而成(cheng)的(de)。尺(chi)度(du)的(de)不(bu)確性(xing)是(shi)依(yi)照(zhao)NIST技(ji)術(shu)筆記1297方(fang)法(fa)（1994年版“NIST測(ce)量(liang)結果不確性(xing)評(ping)估(gu)指(zhi)導方(fang)案”）計(ji)算得(de)到的(de)。產(chan)品(pin)中(zhong)所(suo)描述的(de)不(bu)確性(xing)為(wei)擴(kuo)大(da)性(xing)不(bu)確因素，覆(fu)蓋(gai)因子(zi)數(shu)為(wei)2 （K=2）。
| 微粒(li)組(zu)成(cheng)： | 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi) |
| 微粒(li)密(mi)度： | 1.05g/cm3 |
| 微粒(li)數量(liang)： | 3 x 108 or 1010顆(ke)/毫(hao)升(sheng) |
| 包裝(zhuang)規格： | 50ml瓶(ping)裝(zhuang)，每盒6瓶(ping) |
| 微粒(li)折射率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
| 添加(jia)劑： | 無(wu) |
| 產(chan)品保(bao)質(zhi)期(qi)： | ≥2年 |
| 存儲條(tiao)件(jian)： | 冰(bing)箱儲藏（冰(bing)點以上）防(fang)止(zhi)冰(bing)凍，緊閉瓶(ping)蓋(gai)防(fang)止(zhi)汙染(ran) |
| 包裝(zhuang)內(nei)容(rong) | 標與溯(su)源(yuan)證書、粒(li)子計數(shu)擬程(cheng)序(xu)、原(yuan)料安(an)數(shu)據表(biao)（MSDS） |
| Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
| 3 x 108 | 1010 | | | Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
| PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
| PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
| PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
| PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
| PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
| PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
| PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
| PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
| PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
| PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
| PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
| PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
| PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
| PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
| PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
| PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
| PD1600 | | 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
| PD2000 | | 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
| PD3000 | | 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 熱(re)電(dian)粒(li)子 熱(re)電(dian)標(biao)準(zhun)粒(li)子 thermo粒(li)子 thermo標(biao)準(zhun)粒(li)子 賽(sai)默(mo)粒(li)子 賽(sai)默(mo)標(biao)準(zhun)粒(li)子飛(fei)世爾(er)粒(li)子 飛(fei)世爾(er)標(biao)準粒(li)子 fisher粒(li)子 fisher標(biao)準(zhun)粒(li)子 （Duke thermo fisher） 美國Duke杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi) DUKE標(biao)準(zhun)粒(li)子/ 粒(li)準乳膠球(qiu)粒(li)子/ 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)/ 標(biao)準(zhun)微粒(li)/ 微粒(li)子/ Duke粒(li)子 液(ye)體(ti)顆(ke)粒(li)計數儀(yi)用 Duke 杜(du)克(ke)3000系列(lie)20-900nm 產(chan)品(pin)描述： Duke 杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 微粒(li) 3000系列(lie)－聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)納米(mi)微粒(li) 20-900nm 儀(yi)器(qi)介(jie)紹(shao) Duke科(ke)學 Duke 杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 微粒(li) SURF-CAL用於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)晶(jing)片(pian)掃描，0.047-3um 美國Duke 杜(du)克(ke)標(biao)準(zhun)粒(li)子 3000 系列(lie)——-納(na)米(mi)尺寸(cun)標準(zhun)粒(li)子（15mL包裝(zhuang),1%固(gu)體(ti)含(han)量(liang)） Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-COUNT-CAL系列(lie) Duke標(biao)準(zhun)粒(li)子 挑(tiao)戰(zhan)性(xing)標(biao)準(zhun)粒(li)子 STANDARDS-EY-Cal系列(lie)（2-70um） 標(biao)準(zhun)顆(ke)粒(li) 標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi) DUKE粒(li)子 標(biao)準(zhun)粒(li)子 杜(du)克(ke)粒(li)子 美國杜克(ke) NIST粒(li)子 NIST標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi) 溯(su)源(yuan)粒(li)子 溯(su)源(yuan)物(wu)質(zhi) 溯(su)源(yuan)粒(li)子 進口(kou)粒(li)子 Duke 金(jin)屬(shu)和礦物(wu)粒(li)子和微球 Duke Fluoro-Max 綠(lv)色(se)和紅色(se)幹(gan)粉狀(zhuang)熒光(guang)微球 Duke Fluoro-Max熒光(guang)標記粒(li)子-綠(lv)色(se) DUKE HEPA-CHECK過(guo)濾(lv)膜(mo)挑(tiao)戰(zhan)微粒(li) Duke OptiBind 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)（PS）微粒(li) Duke OptiLink 羧(suo)基(ji)修(xiu)飾聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)微粒(li) Duke PHARM-TRO計(ji)數(shu)標(biao)準(zhun)系列(lie) Duke Power-Bind 鏈(lian)黴親和素微粒(li) Duke Sera-Mag磁(ci)性(xing)微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(ji)數(shu)精(jing)度尺度(du)標(biao)準微粒(li) Duke 粒(li)子計數(shu)器(qi)標準(zhun) 3K,4K系列(lie) Duke 球(qiu)形(xing)玻(bo)璃(li)材(cai)料(liao) Duke 8000系列(lie)矽微球尺(chi)寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke 9000系列(lie)玻(bo)璃(li)微球尺(chi)寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke ChromoSphere-T彩(cai)色(se)尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒(li) Duke Color-Rich染(ran)色(se)羧(suo)基(ji)修(xiu)飾微球 Duke COUNT-CAL標(biao)準(zhun)顆(ke)粒(li) Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(ji)數(shu)質(zhi)控微粒(li) Duke Cyto-Cal Alignment光(guang)路排序校(xiao)正(zheng)微粒(li) Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒(li) Duke EY-CAL粒(li)徑標準(zhun)系列(lie) Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列(lie)聚(ju)合物(wu)微粒(li)懸浮(fu)液 Duke 2000系列(lie)均勻(yun)尺(chi)度(du)聚(ju)合物(wu)標(biao)準粒(li)子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低(di)強(qiang)度驗(yan)證微粒(li) Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光(guang)強(qiang)度校(xiao)正微粒(li) Clintex 標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke DRI-CAL系列(lie)幹粉標準粒(li)子歐(ou)共(gong)體(ti)標(biao)準(zhun)物(wu)質(zhi)局（BCR）認(ren)證(zheng)石(shi)英(ying)參考顆(ke)粒(li) Duke 3000系列(lie)納米(mi)級尺(chi)度標(biao)準粒(li)子 Duke ChromoSphere 彩(cai)色(se)顯(xian)色(se)微球 - 幹(gan)粉 Duke 花(hua)粉和孢子非高分子(zi)聚(ju)合物(wu)微粒(li)——球(qiu)形(xing)植物(wu)孢粒(li)和花(hua)粉 Duke Fluoro-Max 水(shui)相懸浮(fu)綠色(se) 紅色(se) 藍(lan)色(se)熒光(guang)微球 Duke 7000系列(lie)共聚(ju)物(wu)微粒(li)懸浮(fu)液 Duke SURF-CAL尺(chi)度(du)標(biao)準(zhun)微粒(li) Duke 4000系列(lie)聚(ju)合物(wu)微球尺(chi)寸標(biao)準(zhun)粒(li)子 Duke EY-CAL粒(li)徑標準(zhun)系列(lie)
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