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簡(jian)要(yao)描(miao)述(shu)：NIST溯(su)源尺度標(biao)準，用於(yu)需要(yao)高(gao)度視(shi)覺(jiao)反差(cha)的尺度標(biao)和參考(kao)應用領(ling)域(yu)。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種(zhong)矽(gui)晶(jing)片的(de)表(biao)面性狀(zhuang)的(de)檢測和(he)標(biao)提供了便(bian)利(li)的(de)工具(ju)。產(chan)品的粒(li)徑(jing)復(fu)合(he)儀器廠(chang)家(jia)所需的(de)各種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系(xi)列產(chan)品完(wan)符(fu)合(he)SEMI行業協(xie)會的建立的SSIS標(biao)指導準則(ze)， 微(wei)粒粒徑縱(zong)貫0.047到3.0微(wei)米的範(fan)圍， 覆(fu)蓋了半(ban)導體技術藍圖（ITRS）所(suo)義(yi)的(de)關鍵(jian)質控點
產(chan)品型號(hao)：SURF-CAL尺度標(biao)準微粒(li) 廠商(shang)性質：經銷商(shang)更新(xin)時(shi)間(jian)：2017-06-12訪 問(wen) 量：2608相關文(wen)章(zhang)
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Duke PD-365 SURF-CAL 尺度標(biao)準微粒(li)
NIST溯(su)源尺度標(biao)準，用於(yu)需要(yao)高(gao)度視(shi)覺(jiao)反差(cha)的尺度標(biao)和參考(kao)應用領(ling)域(yu)。SUR-CAL 為(wei)各(ge)種(zhong)矽(gui)晶(jing)片的(de)表(biao)面性狀(zhuang)的(de)檢測和(he)標(biao)提供了便(bian)利(li)的(de)工具(ju)。產(chan)品的粒(li)徑(jing)復(fu)合(he)儀器廠(chang)家(jia)所需的(de)各種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系(xi)列產(chan)品完(wan)符(fu)合(he)SEMI行業協(xie)會的建立的SSIS標(biao)指導準則(ze)， 微(wei)粒粒徑縱(zong)貫0.047到3.0微(wei)米的範(fan)圍， 覆(fu)蓋了半(ban)導體技術藍圖（ITRS）所(suo)義(yi)的(de)關鍵(jian)質控點。通過(guo)將SUR-CAL聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)乳(ru)膠(jiao)微粒沈積在特(te)的(de)矽(gui)晶(jing)片（PSL）表(biao)面，用戶(hu)以(yi)對(dui)掃(sao)描(miao)儀進行(xing)周(zhou)期(qi)性標(biao)，並與(yu)其它的掃(sao)描(miao)儀進行(xing)對(dui)比(bi)。 用戶(hu)還(hai)以(yi)對(dui)生產(chan)環節中(zhong)關鍵(jian)階(jie)段(duan)SSIS的(de)性(xing)能做(zuo)出(chu)評(ping)估。產(chan)品包裝(zhuang)為(wei)50ml，微(wei)粒(li)分(fen)散於(yu)超凈(jing)過(guo)濾(lv)去離(li)子(zi)水中(zhong)，微(wei)粒濃(nong)度 3 x 108 / ml。PD1100（粒(li)徑(jing)1.112 μm）和小於(yu)這壹粒(li)徑(jing)的產(chan)品還(hai)提供1010 /ml 的產(chan)品包裝(zhuang)規(gui)格(ge)以(yi)滿(man)足需要(yao)使用差(cha)別(bie)移動(dong)粒子(zi)分(fen)析儀（DMA）和其它尺寸(cun)排除技術粒子分(fen)析儀器的(de)客(ke)戶需求(qiu)。
尺度測量方法學：
為(wei)了確(que)保與(yu)NIST的直接(jie)溯(su)源性，產(chan)品的粒(li)徑(jing)是(shi)直(zhi)接從NIST提供的標(biao)準參考(kao)微粒(li)通(tong)過(guo)電(dian)子顯微(wei)鏡(jing)或光(guang)學顯(xian)微(wei)鏡(jing)的(de)測量中(zhong)直(zhi)接轉化(hua)而成(cheng)的。尺度的(de)不(bu)確(que)性是依(yi)照(zhao)NIST技術筆記1297方法（1994年版(ban)“NIST測量結果不確(que)性評(ping)估指導方案”）計(ji)算(suan)得(de)到的(de)。產(chan)品中(zhong)所(suo)描(miao)述(shu)的不(bu)確(que)性為(wei)擴(kuo)大(da)性(xing)不(bu)確(que)因(yin)素(su)，覆(fu)蓋因(yin)子(zi)數(shu)為(wei)2 （K=2）。
微(wei)粒(li)組(zu)成(cheng)： | 聚苯(ben)乙烯(xi) |
微(wei)粒(li)密度： | 1.05g/cm3 |
微(wei)粒(li)數(shu)量： | 3 x 108 or 1010顆/毫(hao)升(sheng) |
包(bao)裝(zhuang)規(gui)格(ge)： | 50ml瓶裝(zhuang)，每(mei)盒(he)6瓶 |
微(wei)粒(li)折(zhe)射(she)率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添(tian)加(jia)劑(ji)： | 無(wu) |
產(chan)品保質期(qi)： | ≥2年 |
存儲條(tiao)件(jian)： | 冰箱儲(chu)藏(zang)（冰點以(yi)上）防(fang)止冰凍，緊閉瓶蓋防(fang)止汙染 |
包(bao)裝(zhuang)內(nei)容(rong) | 標(biao)與(yu)溯(su)源證(zheng)書(shu)、粒(li)子(zi)計(ji)數(shu)擬(ni)程序、原(yuan)料安數(shu)據(ju)表(biao)（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克標(biao)準粒子(zi) 熱(re)電粒(li)子(zi) 熱(re)電標(biao)準粒子(zi) thermo粒(li)子 thermo標(biao)準粒子(zi) 賽(sai)默粒(li)子 賽默標(biao)準粒子(zi)飛(fei)世(shi)爾(er)粒子(zi) 飛(fei)世(shi)爾(er)標(biao)準粒子(zi) fisher粒(li)子 fisher標(biao)準粒子(zi) （Duke thermo fisher） 美國Duke杜(du)克標(biao)準粒子(zi)Duke標(biao)準粒子(zi) 聚(ju)苯(ben)乙烯(xi) DUKE標(biao)準粒子(zi)/ 粒(li)準乳膠球(qiu)粒(li)子(zi)/ 聚苯(ben)乙烯(xi)/ 標(biao)準微粒(li)/ 微(wei)粒子/ Duke粒(li)子 液(ye)體(ti)顆粒(li)計數(shu)儀用 Duke 杜克3000系(xi)列20-900nm 產(chan)品描(miao)述(shu)： Duke 杜克標(biao)準粒子(zi) 微(wei)粒 3000系(xi)列－聚(ju)苯(ben)乙烯(xi)納(na)米微粒(li) 20-900nm 儀器介(jie)紹 Duke科學 Duke 杜(du)克標(biao)準粒子(zi) 微(wei)粒 SURF-CAL用於(yu)半(ban)導體晶(jing)片掃(sao)描(miao)，0.047-3um 美國Duke 杜(du)克標(biao)準粒子(zi) 3000 系(xi)列——-納(na)米尺寸(cun)標(biao)準粒子(zi)（15mL包(bao)裝(zhuang),1%固體含量） Duke標(biao)準粒子(zi) STANDARDS-COUNT-CAL系(xi)列 Duke標(biao)準粒子(zi) 挑戰性標(biao)準粒子(zi) STANDARDS-EY-Cal系(xi)列（2-70um） 標(biao)準顆粒(li) 標(biao)準物質 DUKE粒子(zi) 標(biao)準粒子(zi) 杜(du)克粒子 美國杜克 NIST粒(li)子 NIST標(biao)準物質 溯(su)源粒子(zi) 溯(su)源物質 溯(su)源粒子(zi) 進口(kou)粒子 Duke 金屬和礦物粒子和(he)微(wei)球(qiu) Duke Fluoro-Max 綠(lv)色和紅色幹(gan)粉(fen)狀(zhuang)熒(ying)光(guang)微球(qiu) Duke Fluoro-Max熒(ying)光(guang)標(biao)記粒子(zi)-綠(lv)色 DUKE HEPA-CHECK過(guo)濾(lv)膜(mo)挑戰微粒 Duke OptiBind 聚苯(ben)乙烯(xi)（PS）微粒 Duke OptiLink 羧(suo)基(ji)修(xiu)飾聚苯(ben)乙烯(xi)微(wei)粒(li) Duke PHARM-TRO計(ji)數(shu)標(biao)準系(xi)列 Duke Power-Bind 鏈黴(mei)親(qin)和(he)素微粒 Duke Sera-Mag磁性(xing)微(wei)珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計數(shu)精(jing)度尺度標(biao)準微粒(li) Duke 粒(li)子計數(shu)器(qi)標(biao)準 3K,4K系(xi)列 Duke 球(qiu)形(xing)玻璃材料(liao) Duke 8000系(xi)列矽(gui)微(wei)球(qiu)尺寸(cun)標(biao)準粒子(zi) Duke 9000系(xi)列玻璃微球(qiu)尺寸(cun)標(biao)準粒子(zi) Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biao)準微粒(li) Duke Color-Rich染(ran)色羧(suo)基(ji)修(xiu)飾微球(qiu) Duke COUNT-CAL標(biao)準顆粒(li) Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(ji)數(shu)質控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光(guang)路排序校正微(wei)粒(li) Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒(li) Duke EY-CAL粒(li)徑標(biao)準系(xi)列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系(xi)列聚(ju)合(he)物微粒懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke 2000系(xi)列均(jun)勻尺度聚(ju)合(he)物標(biao)準粒子(zi) Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiang)度驗(yan)證(zheng)微(wei)粒(li) Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多(duo)熒(ying)光(guang)強(qiang)度校(xiao)正微(wei)粒(li) Clintex 標(biao)準粒子(zi) Duke DRI-CAL系(xi)列幹(gan)粉(fen)標(biao)準粒子(zi)歐共(gong)體(ti)標(biao)準物質局（BCR）認(ren)證(zheng)石英(ying)參(can)考顆(ke)粒 Duke 3000系(xi)列納(na)米級尺度標(biao)準粒子(zi) Duke ChromoSphere 彩色顯色微球(qiu) - 幹(gan)粉(fen) Duke 花粉(fen)和孢(bao)子非高(gao)分(fen)子聚(ju)合(he)物微粒——球(qiu)形(xing)植(zhi)物孢粒和(he)花粉(fen) Duke Fluoro-Max 水相懸(xuan)浮(fu)綠(lv)色 紅色 藍色熒光(guang)微球(qiu) Duke 7000系(xi)列共(gong)聚物微粒懸(xuan)浮(fu)液(ye) Duke SURF-CAL尺度標(biao)準微粒(li) Duke 4000系(xi)列聚(ju)合(he)物微球(qiu)尺寸(cun)標(biao)準粒子(zi) Duke EY-CAL粒(li)徑標(biao)準系(xi)列
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