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簡(jian)要(yao)描(miao)述(shu)：NIST溯(su)源尺(chi)度標準，用(yong)於(yu)需要(yao)高(gao)度視(shi)覺(jiao)反(fan)差的(de)尺(chi)度標和(he)參考(kao)應(ying)用領(ling)域。SUR-CAL 為各種(zhong)矽晶片(pian)的(de)表面性狀的(de)檢(jian)測(ce)和(he)標(biao)提(ti)供了便利(li)的(de)工(gong)具。產(chan)品的(de)粒(li)徑復合(he)儀器(qi)廠(chang)家所需的(de)各(ge)種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系列(lie)產(chan)品完符(fu)合(he)SEMI行業(ye)協會(hui)的(de)建(jian)立(li)的(de)SSIS標(biao)指導準則(ze)， 微(wei)粒(li)粒(li)徑縱貫0.047到(dao)3.0微(wei)米的(de)範(fan)圍(wei)， 覆蓋(gai)了半導體(ti)技術藍(lan)圖(tu)（ITRS）所義的(de)關鍵(jian)質(zhi)控(kong)點(dian)
產品型號(hao)：SURF-CAL尺度標準微(wei)粒(li) 廠(chang)商性質(zhi)：經(jing)銷商(shang)更新時間(jian)：2016-05-08訪(fang) 問 量(liang)：2702產品分類
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Duke PD-800 SURF-CAL 尺(chi)度標準微(wei)粒(li)
NIST溯(su)源尺(chi)度標準，用(yong)於(yu)需要(yao)高(gao)度視(shi)覺(jiao)反(fan)差的(de)尺(chi)度標和(he)參考(kao)應(ying)用領(ling)域。SUR-CAL 為各種(zhong)矽晶片(pian)的(de)表面性狀的(de)檢(jian)測(ce)和(he)標(biao)提(ti)供了便利(li)的(de)工(gong)具。產(chan)品的(de)粒(li)徑復合(he)儀器(qi)廠(chang)家所需的(de)各(ge)種(zhong)規(gui)格(ge)。SURF-CAL系列(lie)產(chan)品完符(fu)合(he)SEMI行業(ye)協會(hui)的(de)建(jian)立(li)的(de)SSIS標(biao)指導準則(ze)， 微(wei)粒(li)粒(li)徑縱貫0.047到(dao)3.0微(wei)米的(de)範(fan)圍(wei)， 覆蓋(gai)了半導體(ti)技術藍(lan)圖(tu)（ITRS）所義的(de)關鍵(jian)質(zhi)控(kong)點(dian)。通過(guo)將(jiang)SUR-CAL聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)乳(ru)膠微(wei)粒(li)沈積(ji)在(zai)特(te)的(de)矽晶片(pian)（PSL）表面，用(yong)戶(hu)以(yi)對(dui)掃(sao)描儀進(jin)行周期性標，並與其(qi)它的(de)掃(sao)描儀進(jin)行對(dui)比。 用(yong)戶(hu)還以(yi)對(dui)生產(chan)環節中(zhong)關鍵(jian)階(jie)段SSIS的(de)性能(neng)做(zuo)出(chu)評(ping)估。產品包(bao)裝為50ml，微(wei)粒(li)分散(san)於(yu)超凈(jing)過(guo)濾(lv)去(qu)離(li)子(zi)水(shui)中(zhong)，微(wei)粒(li)濃(nong)度 3 x 108 / ml。PD1100（粒(li)徑1.112 μm）和(he)小於這壹粒(li)徑的(de)產(chan)品還提(ti)供1010 /ml 的(de)產(chan)品包(bao)裝規(gui)格(ge)以(yi)滿(man)足需(xu)要使(shi)用(yong)差(cha)別(bie)移(yi)動粒(li)子分(fen)析(xi)儀（DMA）和(he)其(qi)它尺(chi)寸(cun)排(pai)除(chu)技術粒(li)子分(fen)析(xi)儀器(qi)的(de)客戶(hu)需求。
尺(chi)度測(ce)量(liang)方法學(xue)：
為了確(que)保(bao)與NIST的(de)直(zhi)接溯(su)源性，產品的(de)粒(li)徑是(shi)直(zhi)接從(cong)NIST提(ti)供的(de)標(biao)準參考(kao)微(wei)粒(li)通過(guo)電(dian)子(zi)顯(xian)微(wei)鏡或光學(xue)顯(xian)微(wei)鏡的(de)測(ce)量(liang)中直(zhi)接轉(zhuan)化(hua)而成(cheng)的(de)。尺(chi)度的(de)不(bu)確(que)性是(shi)依照(zhao)NIST技術筆(bi)記1297方法（1994年(nian)版“NIST測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)不確(que)性評估指導方案”）計算(suan)得(de)到(dao)的(de)。產(chan)品中所描述(shu)的(de)不(bu)確(que)性為擴大性不確因(yin)素，覆蓋(gai)因子數為2 （K=2）。
| 微(wei)粒(li)組成(cheng)： | 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi) |
| 微(wei)粒(li)密度： | 1.05g/cm3 |
| 微(wei)粒(li)數量(liang)： | 3 x 108 or 1010顆(ke)/毫(hao)升(sheng) |
| 包(bao)裝規(gui)格(ge)： | 50ml瓶裝(zhuang)，每盒(he)6瓶 |
| 微(wei)粒(li)折射(she)率(lv)： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
| 添加(jia)劑： | 無(wu) |
| 產(chan)品保(bao)質(zhi)期(qi)： | ≥2年(nian) |
| 存儲(chu)條件(jian)： | 冰(bing)箱(xiang)儲藏(zang)（冰(bing)點(dian)以(yi)上）防止(zhi)冰(bing)凍，緊閉(bi)瓶蓋(gai)防止汙(wu)染(ran) |
| 包(bao)裝內(nei)容 | 標與溯(su)源證(zheng)書、粒(li)子計數擬(ni)程序(xu)、原料(liao)安數據(ju)表（MSDS） |
| Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
| 3 x 108 | 1010 | | | Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
| PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
| PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
| PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
| PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
| PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
| PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
| PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
| PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
| PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
| PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
| PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
| PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
| PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
| PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
| PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
| PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
| PD1600 | | 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
| PD2000 | | 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
| PD3000 | | 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克標準粒(li)子 熱(re)電(dian)粒(li)子 熱(re)電(dian)標(biao)準粒(li)子 thermo粒(li)子 thermo標準粒(li)子 賽默(mo)粒(li)子 賽默(mo)標(biao)準粒(li)子飛世爾(er)粒(li)子 飛世爾(er)標(biao)準粒(li)子 fisher粒(li)子 fisher標準粒(li)子 （Duke thermo fisher） 美(mei)國Duke杜克標準粒(li)子Duke標準粒(li)子 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi) DUKE標準粒(li)子/ 粒(li)準乳(ru)膠球(qiu)粒(li)子/ 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)/ 標準微(wei)粒(li)/ 微(wei)粒(li)子/ Duke粒(li)子 液體顆(ke)粒(li)計數儀用(yong) Duke 杜克3000系列(lie)20-900nm 產品描述(shu)： Duke 杜克標準粒(li)子 微(wei)粒(li) 3000系列(lie)－聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)納米微(wei)粒(li) 20-900nm 儀器(qi)介紹 Duke科學(xue) Duke 杜克標準粒(li)子 微(wei)粒(li) SURF-CAL用於半導(dao)體(ti)晶片(pian)掃(sao)描，0.047-3um 美(mei)國Duke 杜克標準粒(li)子 3000 系列(lie)——-納米尺(chi)寸(cun)標準粒(li)子（15mL包(bao)裝,1%固體(ti)含量(liang)） Duke標準粒(li)子 STANDARDS-COUNT-CAL系列(lie) Duke標準粒(li)子 挑戰性標準粒(li)子 STANDARDS-EY-Cal系列(lie)（2-70um） 標準顆(ke)粒(li) 標準物(wu)質(zhi) DUKE粒(li)子 標準粒(li)子 杜克粒(li)子 美(mei)國杜(du)克 NIST粒(li)子 NIST標準物(wu)質(zhi) 溯(su)源粒(li)子 溯(su)源物(wu)質(zhi) 溯(su)源粒(li)子 進(jin)口(kou)粒(li)子 Duke 金屬(shu)和(he)礦物(wu)粒(li)子和(he)微(wei)球(qiu) Duke Fluoro-Max 綠色和(he)紅(hong)色(se)幹(gan)粉(fen)狀熒光微(wei)球(qiu) Duke Fluoro-Max熒光標(biao)記粒(li)子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過(guo)濾(lv)膜(mo)挑戰微(wei)粒(li) Duke OptiBind 聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)（PS）微(wei)粒(li) Duke OptiLink 羧基修飾(shi)聚(ju)苯乙(yi)烯(xi)微(wei)粒(li) Duke PHARM-TRO計數標(biao)準系列(lie) Duke Power-Bind 鏈黴親和(he)素微(wei)粒(li) Duke Sera-Mag磁性微(wei)珠(zhu) Duke Smoke-Check Duke Validex 計數精(jing)度尺度標準微(wei)粒(li) Duke 粒(li)子計數器(qi)標準 3K,4K系列(lie) Duke 球形玻璃材料(liao) Duke 8000系列(lie)矽微(wei)球(qiu)尺(chi)寸(cun)標準粒(li)子 Duke 9000系列(lie)玻(bo)璃微(wei)球(qiu)尺(chi)寸(cun)標準粒(li)子 Duke ChromoSphere-T彩(cai)色(se)尺度標準微(wei)粒(li) Duke Color-Rich染色羧基(ji)修(xiu)飾(shi)微(wei)球(qiu) Duke COUNT-CAL標準顆(ke)粒(li) Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計數質(zhi)控(kong)微(wei)粒(li) Duke Cyto-Cal Alignment光路(lu)排(pai)序(xu)校(xiao)正(zheng)微(wei)粒(li) Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微(wei)粒(li) Duke EY-CAL粒(li)徑標準系列(lie) Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列(lie)聚(ju)合(he)物(wu)微(wei)粒(li)懸浮(fu)液 Duke 2000系列(lie)均勻尺度聚(ju)合(he)物(wu)標(biao)準粒(li)子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低(di)強(qiang)度驗證(zheng)微(wei)粒(li) Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多(duo)熒光強(qiang)度校(xiao)正(zheng)微(wei)粒(li) Clintex 標準粒(li)子 Duke DRI-CAL系列(lie)幹(gan)粉標(biao)準粒(li)子歐(ou)共(gong)體(ti)標(biao)準物(wu)質(zhi)局（BCR）認證(zheng)石英(ying)參考(kao)顆(ke)粒(li) Duke 3000系列(lie)納米級(ji)尺度標準粒(li)子 Duke ChromoSphere 彩(cai)色(se)顯(xian)色(se)微(wei)球(qiu) - 幹粉 Duke 花粉和(he)孢(bao)子(zi)非(fei)高(gao)分(fen)子聚(ju)合(he)物(wu)微(wei)粒(li)——球形植物(wu)孢(bao)粒(li)和(he)花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮(fu)綠色 紅(hong)色(se) 藍(lan)色(se)熒光微(wei)球(qiu) Duke 7000系列(lie)共(gong)聚(ju)物(wu)微(wei)粒(li)懸浮(fu)液 Duke SURF-CAL尺度標準微(wei)粒(li) Duke 4000系列(lie)聚(ju)合(he)物(wu)微(wei)球(qiu)尺(chi)寸(cun)標準粒(li)子 Duke EY-CAL粒(li)徑標準系列(lie)
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