晶(jing)圓(yuan)表面用(yong)二(er)氧化(hua)矽(gui)

晶(jing)圓(yuan)表面用(yong)二(er)氧化(hua)矽(gui)

納米(mi)二(er)氧化(hua)矽(gui)™尺寸標(biao)準

MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆(ke)粒(li)的濃縮水(shui)懸(xuan)浮液，具(ju)有高度(du)均勻(yun)的尺寸分布。

這(zhe)些粒(li)徑(jing)標(biao)準目(mu)前提(ti)供(gong)的標(biao)稱尺寸範圍為 15 至(zhi) 200 nm，非常適(shi)合為(wei)下(xia)壹(yi)代晶(jing)圓(yuan)和光(guang)掩模檢測系統生(sheng)產(chan)高質(zhi)量校(xiao)準標(biao)準。

雖然 MSP 23000NPT 系(xi)列(lie)和 2300G3 系(xi)列(lie)粒子沈(chen)積系統為(wei)表面缺陷(xian)校準標(biao)準的生(sheng)產(chan)提(ti)供(gong)了(le)最佳(jia)結(jie)果，但較舊(jiu)的 MSP 系統和其他(ta)制造商的系統也(ye)適用(yong)於納(na)米(mi)二(er)氧化(hua)矽(gui)尺寸標(biao)準。

特(te)征(zheng)

+ 極其均(jun)勻的尺寸分布

我(wo)們的納米(mi)二(er)氧化(hua)矽(gui)尺寸標(biao)準采(cai)用(yong)獲得(de)**的 SiO2合成(cheng)工(gong)藝(yi)開發(fa)，其尺寸分布比(bi)市售(shou)的 PSL 球更窄(zhai)。

+ 使(shi)用(yong) SI 可(ke)追(zhui)溯(su)性(xing)測量的峰直徑(jing)

允許產(chan)量提(ti)高和計(ji)量(liang)小組根(gen)據(ju) ISO 9000 標(biao)準和 SEMI 指(zhi)南(nan)建(jian)立其檢查(zha)和缺陷(xian)審查(zha)方法(fa)的可(ke)追(zhui)溯(su)性(xing)。

+ 受到強(qiang)烈(lie) DUV 輻(fu)射(she)時(shi)穩定(ding)

MSP 的 SiO2顆(ke)粒(li)在暴(bao)露於 DUV 輻(fu)射(she)時(shi)不會降(jiang)解(jie)，這(zhe)與 PSL 球(qiu)體(ti)不同，PSL 球(qiu)體(ti)的尺寸會(hui)減小。

+ 易於使(shi)用(yong)

NanoSilica 顆(ke)粒(li)懸(xuan)浮液在滴(di)管(guan)瓶(ping)中(zhong)提(ti)供(gong)，以(yi)便(bian)在您的應用(yong)中(zhong)混合具(ju)有適(shi)當數(shu)量濃度的懸(xuan)浮液時(shi)使(shi)用(yong)方便(bian)。

+ 高粒(li)子濃度

壹(yi)些(xie)應(ying)用(yong)需要(yao)高濃度。 MSP 的顆(ke)粒(li)濃度是(shi)業(ye)內(nei)最(zui)高的之(zhi)壹(yi)。

+ 輕(qing)松(song)辨別(bie)模態（峰值(zhi)）直徑(jing)

+ 避免由(you)於平(ping)均和峰值(zhi)直徑(jing)值(zhi)之(zhi)間(jian)的差異(yi)而導致的差異(yi)

+ 制備(bei)適(shi)用(yong)於效率(lv)相對較高或(huo)較低(di)的氣溶(rong)膠產(chan)生(sheng)裝置的稀釋(shi)懸(xuan)浮液

+ 為(wei)***的檢測工具(ju)創建(jian)持久的校準標(biao)準

+ 消(xiao)耗(hao)更少(shao)的材(cai)料；存錢

+ 隨附(fu)校準和可(ke)追(zhui)溯(su)性(xing)證書(shu)以(yi)及帶有(you)處理(li)和處置說(shuo)明的安全(quan)數(shu)據(ju)表 (SDS)

1給(gei)定(ding)目(mu)錄(lu)號(hao)的認證直徑(jing)將(jiang)在(zai)規(gui)定(ding)範圍內提(ti)供(gong)。

2相對半高寬(kuan)（半高全(quan)寬(kuan)）； FWHM 除(chu)以模態直徑(jing)。

規(gui)格(ge)

NanoSilica™ 微粒(li)子(zi)標(biao)準溶(rong)液是(shi)由(you)MSP Corporation制作(zuo)的高度(du)均勻(yun)尺寸SiO2微粒(li)子(zi)濃縮水(shui)溶(rong)液，微粒(li)子(zi)尺寸從18nm到200nm都可(ke)選(xuan)擇，是市(shi)面上***、高質(zhi)量的校正(zheng)標(biao)準，適用(yong)於最(zui)新壹(yi)代的晶(jing)圓(yuan)表面汙染/缺(que)陷(xian)檢查(zha)系統及光(guang)罩(zhao)檢查(zha)系統。

***的半導體(ti)檢查技術(shu)已(yi)經發(fa)展到小於30nm，以(yi)往使(shi)用(yong)Polystyrene latex (PSL)球形(xing)化(hua)粒(li)子即可(ke)做(zuo)晶(jing)圓(yuan)表面汙染/缺(que)陷(xian)檢查(zha)系統及光(guang)罩(zhao)檢查(zha)系統的校正(zheng)，但新壹(yi)代的檢查系統使(shi)用(yong)到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢(jian)查小於20nm的汙染或(huo)缺(que)陷(xian)，當UV光(guang)重復(fu)打在(zai)PSL球(qiu)形(xing)化(hua)粒(li)子上，將(jiang)影(ying)響到(dao)PSL球(qiu)形(xing)化(hua)粒(li)子的質量; 由(you)於SiO2微粒(li)子(zi)在(zai)DUV及EUV的照射下擁(yong)有穩定(ding)的質量，因此SiO2微粒(li)子(zi)是(shi)最佳的替代產(chan)品。

NanoSilica™ 微粒(li)子(zi)標(biao)準溶(rong)液是(shi)使(shi)用(yong)有**的SiO2合成技術(shu)，可(ke)以(yi)做(zuo)到(dao)如(ru)PSL球(qiu)形(xing)化(hua)粒(li)子壹樣的尺寸分布，從目(mu)前最(zui)小的微粒(li)子(zi)尺寸來看(kan)，NanoSilica™ 微粒(li)子(zi)標(biao)準溶(rong)液是(shi)尺寸最(zui)均(jun)勻，適合做(zuo)尺寸大(da)小峰值(zhi)的量測的工具(ju)。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒(li)子(zi)標(biao)準溶(rong)液是(shi)MSP Corporation透過(guo)National Institute of Standards and Technology (NIST)追(zhui)溯(su)到(dao)標(biao)準單位的產(chan)品，加上(shang)ISO 9000與SEMI的認證，讓良率(lv)提(ti)升及表面檢查和缺陷(xian)評估(gu)有所(suo)依據(ju)。

NanoSilica™ 微粒(li)子(zi)標(biao)準溶(rong)液使(shi)用(yong)15-mL滴定(ding)，讓使(shi)用(yong)者操(cao)作(zuo)更方便(bian)。每壹瓶(ping)溶(rong)液的卷(juan)標(biao)皆標(biao)示(shi)產(chan)品編號(hao)、生(sheng)產(chan)編號(hao)、微粒(li)子(zi)尺寸峰(feng)值(zhi)、尺寸分布半高寬(kuan)及有效期限，而且提(ti)供(gong)NIST-traceable證(zheng)明書(shu)與(yu)Material Safety Data Sheet (MSDS)說(shuo)明書(shu)。

產(chan)品優(you)勢(shi)
•尺寸大(da)小分布均(jun)勻(yun)
•NIST traceability 的尺寸大(da)小
•DUV及EUV的照射下擁(yong)有穩定(ding)的質量
•高濃縮度微粒(li)子(zi)懸(xuan)浮溶(rong)液

產(chan)品效益
•易於微粒(li)子(zi)撒粒(li)系(xi)統、晶(jing)圓(yuan)表面汙染/缺(que)陷(xian)檢查(zha)系統或(huo)各(ge)類分析儀(yi)器偵測與量測尺寸峰(feng)值(zhi)
•可(ke)避(bi)免(mian)平(ping)均尺寸與(yu)尺寸峰(feng)值(zhi)的差異(yi)性(xing)
•適合(he)氣膠產(chan)生(sheng)設備(bei)使(shi)用(yong)
•提(ti)供(gong)耐久校正(zheng)標(biao)準給(gei)*進(jin)的檢測設備(bei)使(shi)用(yong)
•省錢(qian)而且耗(hao)用(yong)量少(shao)